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APPLIED HEADSMART®

APPLIED HEADSMART®
正确的研磨头搭配合适的部件

HeadSmart 是 CMP 研磨头换新服务的 Total Kit Management®365体育备用网址(全面套件管理解决方案),综合提供清洁、部件更换、再组装和测试等服务。HeadSmart 可确保 CMP 研磨头以最高质量换新,从而提高设备在线性能。

  • 综合解决方案,价格固定,成本可预测
  • 研磨头异地换新,节省宝贵的占地空间
  • 研磨头性能分布更紧密,成本可预测性更强
  • 装入设备前对每个研磨头的全面多点认证

  • 针对每个研磨头提供定制物料清单,包含 (1) 应用材料公司认证的原厂零部件和 (2) 客户专用的零部件编号以及更换频率
  • 应用材料公司最佳方法和知识库查阅权限
  • 遵照已批准的最佳已知方法完成的换新程序
  • 往返晶圆厂的运输

该解决方案与可选附加服务 QuickStart™(使 CMP 固定环进入生产就绪状态)结合使用,提供研磨头预运行测试功能,最高可将设备正常运行率提高 5%。该组合方案还可以 (1) 减少早期研磨头故障,(2) 由于研磨头性能的更紧密分布而改善可预测的性能和成本,从而使 MWBR(维修间隔平均晶圆加工量)提高 50% 以上